7月31日,安徽易芯半導(dǎo)體有限公司(以下簡稱“易芯公司”)自主研發(fā)的“年產(chǎn)160萬片12英寸芯片級單晶硅片”一期項目在合肥新站高新區(qū)正式投產(chǎn),這是安徽省唯一一個12英寸芯片級單晶硅材料生產(chǎn)項目,也是國內(nèi)進(jìn)展速度最快的12英寸大硅片項目。
易芯公司總經(jīng)理馬四海先生表示:公司通過多年自主研發(fā),易芯公司成功開發(fā)了我國第一臺全自動大尺寸(12-16英寸)晶體生長爐,本項目一期投產(chǎn),新上8條12英寸單晶硅棒生產(chǎn)線,可實現(xiàn)年產(chǎn)單晶硅棒160噸(成品)。啟動的8條產(chǎn)線的產(chǎn)能數(shù)量和晶體生長的項目進(jìn)展速度在國內(nèi)均屬于領(lǐng)先地位,設(shè)備(單晶爐)、軟體(控制系統(tǒng))、晶體生長工藝完全自主開發(fā),能做到這一點的,國內(nèi)也僅此一家。目前,公司已啟動二期切磨拋工藝的規(guī)劃建設(shè)。
易芯公司的正式投產(chǎn)意味著合肥集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)一步完善,不僅有IC設(shè)計、晶圓制造、封裝測試項目,還擁有芯片原材料制造企業(yè),勢必為合肥打造“中國IC之都”提供新助力,為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供新的動力和信心。
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